磁
電復(fù)合薄膜資料是由具有磁致伸縮特性的鐵磁相和具有壓電特性的鐵電相復(fù)合而成。在必定溫度范圍內(nèi)，這種資料不只具有鐵磁性、鐵電性，而且鐵氧體黑磁更重要的是具有磁
電耦合效應(yīng)或磁電效應(yīng)。這種磁電效應(yīng)來(lái)歷于鐵電相與鐵磁相之間的彈性相互效果，可以認(rèn)為是磁電資料中鐵電相的壓電效應(yīng)與鐵磁相的磁致伸縮效應(yīng)水表磁的乘積效應(yīng)。
磁電復(fù)合薄膜資料因具有磁電效應(yīng)而在信息存儲(chǔ)、自旋電子器材、磁傳感器、電容－電感一體化器材等方面有著寬廣的儀表磁運(yùn)用遠(yuǎn)景。當(dāng)時(shí)，磁電復(fù)合薄膜資料已成為無(wú)
機(jī)功用資料的研討熱門。
根
據(jù)復(fù)合構(gòu)造的不一樣，磁電復(fù)合薄膜分為３類：第一類是將鐵磁相微粒渙散到鐵電相中而得到的一種顆粒復(fù)合薄膜；第二類是指鐵磁相呈柱狀散布于鐵電相中而得到的
柱狀復(fù)合薄膜；第三類是將鐵電、鐵磁兩相替換堆積而得到的層狀構(gòu)造的復(fù)合薄膜。比較于前兩種構(gòu)造的復(fù)合薄膜，第三類磁電復(fù)合薄膜（層狀磁電復(fù)合薄膜）的最
大長(zhǎng)處是電阻率很高的鐵電相膜層可以徹底阻斷鐵磁相膜層之間的連通，可徹底消除前兩種磁電復(fù)合薄膜中存在的漏電流過(guò)大的疑問，有利于取得具有較高磁電功能
的磁電復(fù)合薄膜資料，因此具有寬廣的運(yùn)用遠(yuǎn)景。這種磁電復(fù)合薄膜不只契合集成器材的需求，而且可借助其在納米標(biāo)準(zhǔn)考察鐵電相與鐵磁相之間的耦合效果，然后
有助于探求磁電效應(yīng)的物理實(shí)質(zhì)。
層
狀磁電復(fù)合薄膜的制備辦法首要有物理氣相堆積法和溶膠－凝膠法。選用物理氣相堆積法制備的磁電復(fù)合薄膜，鐵電相和鐵磁相界面平坦、清晰，界面處兩相間無(wú)明
顯分散，具有較大的磁電效應(yīng)；但薄膜的堆積需要在必定的真空環(huán)境下進(jìn)行，試驗(yàn)設(shè)備貴重，制備工藝比較復(fù)雜，本錢較高，周期長(zhǎng)，這些缺點(diǎn)也約束了其實(shí)踐應(yīng)
用。對(duì)于物理氣相堆積法制備磁電復(fù)合薄膜存在的缺點(diǎn)，國(guó)內(nèi)外學(xué)者嘗試用溶膠－凝膠法制備磁電復(fù)合薄膜。溶膠-凝膠法可在空氣中進(jìn)行薄膜的堆積，不需要貴重
的真空設(shè)備，具有本錢低、成膜均勻性好、成膜面積大、原資料來(lái)歷廣泛、與微電子技術(shù)兼容等長(zhǎng)處。但是，如果制備條件不合適，得到的磁電復(fù)合薄膜的磁電功能
將遠(yuǎn)低于物理法制備的磁電復(fù)合薄膜。當(dāng)時(shí)一個(gè)研討熱門即是優(yōu)化溶膠-凝膠法制備磁電復(fù)合薄膜資料的工藝，削減復(fù)合薄膜中鐵電相和鐵磁相間的分散，并削減復(fù)
合薄膜中氣孔和微裂紋等缺點(diǎn)，以制備具有較高磁電功能的磁電復(fù)合薄膜資料。
復(fù)合資料的磁電系數(shù)越大，其磁電耦合功能越好，磁電轉(zhuǎn)換功率也越高。為了使磁電復(fù)合資料具有較高的磁電效應(yīng)，需求鐵電相具有較高的壓電效應(yīng)，當(dāng)時(shí)首要選用含鉛的Ｐｂ（Ｚｒ０.５２Ｔｉ０.４８）Ｏ３ 或其他鉛基鐵電資料。當(dāng)時(shí)另一個(gè)研討熱門是研制具有較高磁電功能的無(wú)鉛磁電復(fù)合薄膜資料，以代替當(dāng)時(shí)遍及運(yùn)用的含鉛的磁電資料。
作者：東陽(yáng)市卓越電磁材料廠
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關(guān)鍵詞：
鐵氧體黑磁，水表磁，儀表磁
